工作原理：

       通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而获得表面形貌结构信息及表面粗糙度等信息。

主要功能特色：

       可在大气环境下测量固体表面、吸附体系等，得到三维表面形貌、粗造度、厚度、相图等信息以及通过不同的扫描探针和扫描模式实现对样品表层进行电学、力学、压电等性能的探测。

1. 工作模式：轻敲模式(Tapping Mode) ；接触模式(Contact Mode)；相位成像模式(Phase imaging)；横向力模式(Lateral force Microscopy LFM)；磁场力显微镜(Magnetic Force Microscopy, MFM)；压电响应模式(Piezo Response Force Microscopy, PFM mode)；扫描开尔文显微镜(Kelvin probe force microscopy, KPFM)；静电力显微镜(EFM)；动态和静态力曲线测试(Force curve)等。
2. 压电力显微镜模式：系统本身能够输出不低于150V的测试电压进行PFM测试 。
3. 导电AFM模式：可进行导电AFM成像和I/V曲线测试。电流测试范围1pA~20nA。
4. 扫描器：
4.1 扫描器是X,Y,Z三轴分离的扫描器；X,Y方向的扫描范围≥30μm，Z方向≥5μm；
4.2 扫描方式为样品扫描：扫描过程中由扫描轴驱动样品在X,Y,Z三个轴上进行运动，探针始终保持静止不动；
4.3 扫描器闭环噪音：X,Y轴闭环噪音<60pm
4.4 扫描速度：轻敲模式下1微米扫描时，保证正常成像的前提下，扫描线速度≥40Hz。
5. 控制器：三个全数字双频锁相放大器；具有10个24位和5个16位的数模转换器DAC，8个16位和6个18位模数转换器ADC。
6. 防震隔音系统：系统自身集成的一体式防震隔音系统。
7. 光学系统：光电检测器带宽≥7MHz，光学分辨率≤1微米。

预约说明：

1、需提前预约使用。