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场发射扫描电子显微镜SEM

浙江大学温州研究院12号楼1楼

索老师 / 汪老师

17758146186 / 13819492849

Sigma 300

蔡司 Zeiss

2022-03-31

正常

工作原理:

       SEM是利用细聚焦的纳米级电子束轰击样片表面,通过电子与样品相互作用产生二次电子、背散射电子等特征信号激发出样品表面的各种物理信号,这些信号经过接收、视频放大处理和显示成像,得到相应的微观形貌或成分分析。


主要功能特色:

       二次电子图像,获得高分辨率微区形貌分析及成像

       能谱(EDS),点扫/线扫/Mapping

       背散射电子像(BSD),可反映样品的成分衬度


1. 电子光学系统:

1.1 二次电子分辨率:≤1.0nm@15kV,≤16nm@1kV(非样品台减速模式下);

1.2 加速电压:0.02 ~ 30 kV,步进10 V,连续可调;探针电流可调,无需模式更换;

1.3 放大倍数:10 ~ 1,000,000x,根据加速电压和工作距离的改变,改变放大倍数时自动校准;

1.4 电子束流:最大束流不小于20 nA;

1.5 电子枪:肖特基场发射电子枪,电子束束流稳定性优于0.2%/h;

1.6 可变光阑孔:不低于6孔,光阑孔自动切换,无需移动光阑。

2. 样品台:

2.1 配置五轴优中心马达驱动样品台,移动XY方向最大移动范围:X125mm,Y125mm,R=360” (旋转);

2.2 样品台Z方向最大移动范围:Z50mm,双向倾斜,倾斜范围不小于-10°至90°。

3. 探测器:

3.1 样品室二次电子探测器;

3.2 镜筒内二次电子探测器,使用过程中无需加偏压;

3.3 样品室内可伸缩背散射电子探测器;

3.4 样品室内红外CCD 相机观察系统,与SEM 软件集成一体,SEM 拍摄时可以同时 CCD 监控样品台情况;

3.5 主机同品牌CL探测器。

4. Oxford 能谱仪:

4.1 探测器:分析型SDD 硅漂移电制冷探测器,65mm2有效面积,高分子超薄窗设计,无需液氮冷却,仅消耗电能;
4.2 能量分辨率:Mn Ka 保证优于127eV (@计数率100,000cps);
4.3 元素分析范围:Be4~Cf98;
4.4 具备零峰修正功能,可以快速稳定谱峰,开机后无需重新修正峰位;

4.5 定性分析:可自动标识谱峰,可进行谱重构;
4.6 定量分析:具有完备的虚拟标样库。


送样检测注意事项:

样品必须干燥、无挥发性、无毒无污染、无磁性、无放射性、耐电子束轰击。

①粉末要求在10 mg左右;液体需烘干后寄样;块体/薄膜要求长、宽、高均低于1 cm。测试前请标明测试面,如需测截面,请提前制好截面。

②镀金:对于绝缘体或导电性差的材料需进行喷金处理,否则影响拍摄效果。

③磁性说明:含铁、钴、镍、锰等磁性元素均视为磁性样品,磁性样品原则上不做。


预约说明:

1、需提前预约使用。

2、预约前联系设备管理员,预约请注明测试条件。

3、非测试人员不得操作仪器。

4、其他详尽事宜,请电话联系。